• 橫形分光器（試料高の違いによる強(qiáng)度減衰を低減）
• エネルギー分散形X線分析裝置（EDX）とのコンバイン分析が可能
• EDXに比べ、約10倍の検出感度と高エネルギー分解能、～10eVを?qū)g現(xiàn)

分光器

4結(jié)晶橫形完全集光タイプ（WX-500）
5結(jié)晶橫形完全集光タイプ（WX-700）

分析範(fàn)囲

₅B～₉₂U、₄Be～₉₂U

分光結(jié)晶

LiF、PET、TAP、LSM80N（WX-500）
LiF、PET、TAP、LSM60、LSM200（WX-700）

波長(zhǎng)位置再現(xiàn)性

±0.000014nm