半導(dǎo)體制造設(shè)備化學(xué)濃度監(jiān)控器的銷售將于12月11日開始
?HORIBA Advanced Techno Co.,Ltd.將于12月11日開始銷售化學(xué)濃度監(jiān)測儀“ CS-900”,該濃度監(jiān)測儀以非接觸方式測量半導(dǎo)體制造過程中使用的化學(xué)物質(zhì),例如清潔和蝕刻。對于影響半導(dǎo)體制造過程中表面處理均勻性的化學(xué)藥品,需要嚴(yán)格管理。化學(xué)濃度監(jiān)測儀“ CS-900”可以在不接觸管道中流動(dòng)的化學(xué)物質(zhì)的情況下進(jìn)行測量,并且可以獲得安全穩(wěn)定的測量結(jié)果,而不會(huì)發(fā)生化學(xué)物質(zhì)泄漏或污染。第一年的銷售目標(biāo)是150輛,到2023年將超過1,000輛。
*將于12月11日在東京國際展覽中心舉行的“ SEMICON Japan 2019”上首次展出。
從化學(xué)濃度監(jiān)控器“ CS-900”的
左側(cè),顯示單元,傳感器單元
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發(fā)展背景
半導(dǎo)體制造過程中的化學(xué)處理是影響表面處理的均勻性并影響成品率的重要過程,因此需要對化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行嚴(yán)格的管理。
傳統(tǒng)上,主要方法是將傳感器單元直接連接到化學(xué)溶液流經(jīng)的管道,或?qū)⒐艿婪种Рy量化學(xué)濃度以將溶液發(fā)送到測量單元。然而,存在諸如化學(xué)物質(zhì)污染,引入期間與管道的復(fù)雜連接工作以及化學(xué)物質(zhì)泄漏等問題。這次,我們開發(fā)了一種傳感器單元,只需將??其放置在管道周圍即可安裝,從而實(shí)現(xiàn)非接觸式化學(xué)計(jì)量。這樣可以消除化學(xué)泄漏和污染,并提供安全穩(wěn)定的測量。另外,由于可以在不切割的情況下安裝管道,因此可以減少安裝的工作時(shí)間和工作量。HORIBA Advanced Techno的化學(xué)濃度監(jiān)測儀“ CS系列”將利用全球70%的市場份額,并進(jìn)一步擴(kuò)大銷售。
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產(chǎn)品特點(diǎn)
通過防止無污染的化學(xué)物質(zhì)泄漏和由于非接觸式結(jié)構(gòu)引起的污染,它通過安全穩(wěn)定的測量有助于提高產(chǎn)量并減少化學(xué)藥品的使用。
- 使用
LED?延長光源的壽命使用?LED可以延長光源的壽命。
? - 實(shí)現(xiàn)高溫化學(xué)藥品(20°C到80°C)的穩(wěn)定測量。通過
更新光學(xué)系統(tǒng)并改進(jìn)計(jì)算處理,可以穩(wěn)定地測量對于尖端化學(xué)處理必不可少的高溫化學(xué)藥品。
<標(biāo)準(zhǔn)建議售價(jià)>?
600萬日元(不含稅)
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產(chǎn)品總覽
名稱 |
化學(xué)濃度監(jiān)控儀“ CS-900” |
外型尺寸 |
顯示單元96(W)X135(D)X96(H)mm?? |
測量原理 |
吸收光譜 |
化學(xué)溫度 |
20度至80度 |
彌撒 |
顯示單元約0.9kg??傳感器單元??約2.9kg |